種類 |
分類 |
主要靶材 |
陶瓷
靶材 |
透明導
電材料 |
AZO、HAZO、 GZO、 ZnO、BZO |
陶瓷材料 |
Nb2Ox、TiOx、SiO2、CdS、Al2O3、 SnO2、 ZnS、WC |
合金
靶材 |
鋁合金 |
AlNd、AlCu、AlTi、CrAl、TiCrAl、AlNd |
銅合金 |
CuGa、CuIn、CuInGa、CuNi、CuZn |
鎳合金 |
NiCr、NiV、NiCu |
鋅合金 |
ZnSn、ZnAl |
其他合金 |
MoNb、 SiAl、InSn、MoTa、TiSi |
旋轉
靶材 |
複合材料 |
AZO、Nb2Ox、TiOx、SiAl、ZnSn、ZnAl、AlNd、MoNb、MoTa |
單質材料 |
Si(噴塗/bonding)、 Cr、 Al、Mo、Nb、Sn、SUS、 Cu、Ti |
金屬靶材 |
平面式 |
Si、 Al、 Cr、 Mo、 In 、 Ti、 Nb、 Zn 、 SS、 Sn、 Ni、Ta、Cu |
蒸鍍材料 |
顆粒/錠/環 |
ITO(錠/slug)、Ti、Ni、Al、Cr、SiO2(ring/slug)、TiO2、Ti3O5、Ta2O5、MgF2、SiAl |