種類 |
分類 |
主要靶材 |
陶瓷
靶材 |
透明導
電材料 |
AZO、HAZO、 GZO、 MGZO 、ZnO、 ZTO、 IZO、 IGZO、
IWO、BZO |
陶瓷材料 |
Nb2Ox、TiOx、SiO2、CdS、Al2O3、 SnO2、 MgF2、MgO
、 ZnS、 ZnMgO |
合金
靶材 |
鋁合金 |
AlCu、AlTi |
銅合金 |
CuGa、CuIn、CuInGa、CuNi、CuZn |
鎳合金 |
NiCr、NiV、NiCu |
鋅合金 |
ZnSn、ZnAl |
其他合金 |
NCVM、SiAl、InSn、Ag-alloy、Ti-alloy、Cr-alloy |
旋轉
靶材 |
複合材料 |
AZO、Nb2Ox、TiOx、SiAl、ZnSn、ZnSnSb、ZnAl、TiAl |
單質材料 |
Si、 Cr、 Al、Mo、Nb、Sn、Zn、 SS、 Cu、Ag、Ti |
金屬靶材 |
平面式 |
Si、 Al、 Cr、 Mo、 In 、 Ti、 Nb、 Zn 、 SS、 Sn、
Ni、Ag、 Ta 、 Se |
蒸鍍材料 |
顆粒 |
ITO slug、 Al slug、 Ti slug、 Ni slug、Cr
slug |